日前，全球光刻巨頭ASML（阿斯麥）正式澄清，EUV要進(jìn)口到中國大陸完全沒有任何問題！2019年，中國大陸或?qū)⒂瓉硎着_(tái)EUV光刻機(jī)。

眾所周知，芯片是電子產(chǎn)品所必不可少的組件，芯片制造商要想成功地制造出芯片來，必須用到光刻機(jī)。對(duì)芯片制造商來說，光刻機(jī)就是核心的生產(chǎn)設(shè)備。

目前，全球僅有極少數(shù)的光刻機(jī)設(shè)備廠商能夠研制出高端光刻機(jī)，而荷蘭的ASML則擁有全球晶圓廠光刻機(jī)設(shè)備高達(dá)8成的市場(chǎng)份額，在干式曝光機(jī)、浸潤(rùn)式光刻機(jī)，EUV（極紫外線光刻機(jī)）的市場(chǎng)幾乎處于獨(dú)霸地位，臺(tái)積電、三星、英特爾等國際半導(dǎo)體巨頭都是其客戶。

由于EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)難度和成本都非常大，導(dǎo)致ASML的EUV全年出貨僅12臺(tái)，明年可望增加至20臺(tái)，現(xiàn)累積未出貨訂單約27臺(tái)，其中有5臺(tái)已被臺(tái)積電預(yù)訂，費(fèi)款高達(dá)5.5億美元。

在國內(nèi)，一直流傳著一種聲音....受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買到ASML的中低端產(chǎn)品，出價(jià)再高，也無法購得ASML的高端設(shè)備。甚至還有人認(rèn)為，臺(tái)積電、三星等在制程上之所以大幅領(lǐng)先中芯國際，主要是因?yàn)锳SML最先進(jìn)的光刻機(jī)對(duì)大陸禁售。

那么，ASML的EUV光刻機(jī)真的對(duì)大陸禁售？到底是受產(chǎn)量限制，還是相傳受到國際條約《瓦森納協(xié)議》的制約？

近日，ASML中國區(qū)總裁金泳璇在接受媒體（DIGITIMES）采訪時(shí)正式澄清，ASML對(duì)大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單，EUV要進(jìn)口到中國完全沒有任何問題。在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個(gè)月。

他還透露，目前已有大陸晶圓廠巨頭與ASML展開7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首臺(tái)EUV可望落地。

值得一提的是，中芯國際正好在今年3月宣誓進(jìn)軍7納米，還表示已和ASML達(dá)成合作。由此看來，ASML所說的“大陸晶圓廠巨頭”應(yīng)是中芯國際無疑了！

沒有EUV，大陸芯片制造死路一條

作為集成電路制造過程中最核心的設(shè)備，光刻機(jī)至關(guān)重要，芯片廠商想要提升工藝制程，沒有它萬萬不行，中國半導(dǎo)體工藝為啥提升不上去，光刻機(jī)被禁售是一個(gè)主要因素。

一般來說，一家芯片代工廠，從客戶那里獲得一個(gè)芯片生產(chǎn)訂單開始算起，需要在60天內(nèi)為該客戶生產(chǎn)完所有硅片，這些硅片經(jīng)過封裝和測(cè)試等環(huán)節(jié)后，大約又需耗時(shí)一個(gè)月。

不過，如果這家芯片代工廠采用EUV光刻技術(shù)，所用生產(chǎn)時(shí)長(zhǎng)將會(huì)大幅縮短，并且產(chǎn)品良率也會(huì)提高很多。EUV最大的優(yōu)點(diǎn)就是20多天即可出廠，而用其他工藝則要80多天。

所以說，大規(guī)模量產(chǎn)必須要用到EUV。而且，沒有EUV光刻機(jī)，大陸晶圓代工廠在7納米之戰(zhàn)中毫無勝算！